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M.일반지침

[M9] 주사전자현미경(SEM)의 이해

  • 발행2012-07-29
  • 분류MANUAL
  • 별점0
  • 조회24,636
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주요정보
- 발간(연구)목적
본 매뉴얼은 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)의 신호 및 분석법, 구성, 분석방법 등을 이해하기 쉽도록 시각자료를 통하여 설명하고, 장비의 분석 방법과 작동 시 주의사항, 장비의 활용 분야를 제공함으로써 장비 사용에 도움을 주고자 발간됨.

- 주요내용
SEM은 시료를 전자선으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 신호를 검출기로 검출하여 그 강도를 브라운관상에 3차원적인 영상으로써 표시하여 대상물의 확대 상을 얻어 형태, 미세구조의 관찰이나 EDX(Energy Dispersive X-ray)와 WDX(Wavelength Dispersive X-ray)검출기를 부착하여 구성 원소의 분포, 정성, 정량 등의 분석을 수행하는 장치임.
고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이며, 활용도가 매우 다양해서 금속파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, 생체 시료와 유가공 제품 등 전 산업 영역에 걸쳐 사용됨..
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목차
    Ⅰ. 장비 개요
    1. 기본원리
    2. 구성 및 기능

    Ⅱ. 장비 운영
    1. 시료 전처리 방법
    2. 분석 방법
    3. 작동 시 주의 사항

    Ⅲ. 장비 관리
    1. 장비 점검 요령
    2. 장비 유지보수 요령

    Ⅳ. 장비 활용 분야
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[ 최종수정일 : 2015-06-08 11:42:08.0 ]

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